【中華百科全書●工學●薄膜處理】

楊籍富

【中華百科全書●工學●薄膜處理】

 

薄膜處理，是一種在陶瓷玻璃或半導體表面上製造電子元件或電子電路的技術。

 

構成電子元件或電路之材料，如金屬、絕緣質等，研磨成粉末後，用噴鍍法或真空蒸鍍法，使之附著於陶瓷等基座上，形成一厚度在數微米（10-6m）以下之薄膜。

 

再用面罩、光阻劑、蝕刻劑等將電路圖案規畫出，即成薄膜電路。

 

薄膜之形成，也可以用氣相蒸鍍法，則須先將元件材料製成適當的氣體化合物。

 

此化合物氣體拂過陶瓷等基座時，元件材料即析出附著於基座表面，薄膜於焉形成。

 

（郭明彥)

 

引用：http://ap6.pccu.edu.tw/Encyclopedia/data.asp?id=6968