【中華百科全書●工學●薄膜處理】
<P align=center><STRONG><FONT size=5>【<FONT color=red>中華百科全書●工學●薄膜處理</FONT>】</FONT></STRONG></P> <P><STRONG>薄膜處理，是一種在陶瓷玻璃或半導體表面上製造電子元件或電子電路的技術。</STRONG></P><P><STRONG></STRONG> </P>
<P><STRONG>構成電子元件或電路之材料，如金屬、絕緣質等，研磨成粉末後，用噴鍍法或真空蒸鍍法，使之附著於陶瓷等基座上，形成一厚度在數微米（10-6m）以下之薄膜。</STRONG></P>
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<P><STRONG>再用面罩、光阻劑、蝕刻劑等將電路圖案規畫出，即成薄膜電路。</STRONG></P>
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<P><STRONG>薄膜之形成，也可以用氣相蒸鍍法，則須先將元件材料製成適當的氣體化合物。</STRONG></P>
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<P><STRONG>此化合物氣體拂過陶瓷等基座時，元件材料即析出附著於基座表面，薄膜於焉形成。</STRONG></P>
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<P><STRONG>（郭明彥)</STRONG></P>
<P><STRONG></STRONG> </P>引用：http://ap6.pccu.edu.tw/Encyclopedia/data.asp?id=6968
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