【聚合物的幫助組裝複雜的納米體】
比較的形狀
圖案複雜的3D線陣列的一個國際研究小組的研究人員開發了一種新的方式和互連上的微芯片的幫助下,自組裝嵌段共聚物。
該技術可以用於內存芯片上容納更多的電子元件 - 一個重要的進步,隨著器件特徵尺寸的不斷縮小。
領導的研究小組在美國麻省理工學院(MIT)的卡羅琳羅斯和卡爾貝格格倫的,已經顯示出,嵌段共聚物-聚苯乙烯-聚二甲基矽氧烷- “被迫”,形成了一套複雜的3D花紋基板表面。嵌段共聚合物製成的塊的不同的聚合單體。
在雜誌上先進材料技術,詳細介紹,包括使用一個簡單的模板,包括陣列由二氧化矽製成的小柱子解釋小組成員埃米爾Tavakkoli。
我們已經發現,我們可以創建一個豐富多樣的微相分離形態在一個基板上,通過修改佈局的重要支柱,他說。
這樣的一個形態是一個高分辨率的正方形格子的點,但氣缸,球體,橢圓體和雙重圓筒狀,可以很容易地產生太多。
越小越好
最終圖案中的特徵之間的空間可以是小於原始的週期性在嵌段共聚合物,Tavakkoli說。
這意味著,可以裝到樣品基片上的元件的數目增加。事實上,可以用這種方法製成的特徵尺寸是非常小的,在約10-20納米。
相反,那些傳統的光刻法所產生至少10nm做大。
能夠製造這麼小的結構將是重要的特徵尺寸不斷縮小,在按照摩爾定律在未來,因為,他補充說。
在一個盒子的形狀
新技術的另一大優勢是,它可以產生正方形和長方形的結構。
這些形狀是大多數微芯片佈局的基礎,但通過常規的自組裝過程生產是相當困難的。
羅斯說:當分子自組裝,他們有一個自然的傾向,創建六邊形形狀 - 在蜂窩或片玻璃之間的肥皂泡陣列的,他們不自然地形成正方形或長方形。
麻省理工學院的研究人員製造技術,開始建設一個精確的控制模式,使用高分辨率電子束光刻技術在矽襯底表面的奈米柱。
接著,對支柱進行化學塗覆薄的聚苯乙烯“刷”層,隨後與嵌段共聚合物,當它被施加到襯底表面相互作用。
然後共同聚合物自組裝成的圖案是由支柱引導。
驅蚊形狀
該過程的工作,因為模板塗層被設置在這樣一種方式,以排斥在聚合物中的組件之一。
這將產生一個顯著量的聚合物中的應變,迫使它轉來轉。
伯格倫,“解釋”在這樣做時,該聚合物成更有趣的圖案在襯底表面上重新排列本身。
研究小組說,它現在計劃調查的最終格局如何刪除後的物理模板,然後的圖案轉印到基板。
我們將要進行一些功能的設備,我們也想了解和模擬的自組裝過程,使我們可以概括這項工作,其他的嵌段共聚物和地理特徵,avakkoli告訴physicsworld.com。
關於作者
百麗Dumé的特約編輯nanotechweb.org
引用:http://physicsworld.com/cws/article/news/2012/jul/27/polymers-help-assemble-complex-nanofeatures
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