【形狀各向導性】
英語翻譯：shapeanisotropy
【辭書名稱】資訊與通信術語辭典
是指在半導體製程中，進行刻蝕時所發生的形狀變化現象。
不同刻蝕的方法會在不同的方向進行刻蝕（如：向下，向旁）。