【抗光蝕】
英語翻譯：photoresist
【辭書名稱】資訊與通信術語辭典
指在光刻時所使用的膜（軟片），用以暫時性的保持電路或晶片圖型於晶圓上。
被透過光罩上的光照射到的部份會變硬且具抗強酸，未被光照射到晶圓部分會被強酸洗除而完成電路。